| ★目次★
１．クリーン化技術の基礎知識
微粒子の大きさの目安，イメージ
プロセスにおよぼす変動要因
クリーンルームでの発塵源
材料，人，環境，クリーンルーム自体，ユーティリィ
良く見られる異物の形状
通行人数と異物付着数
深夜時，通常運行時，休憩時，交換時
材質組合わせによる発塵
装置機構部からの発塵の考え方
摩擦・衝突・摩耗，Ｏリング・ベルトの劣化，パーティクルの
舞い上がり，落下・付着，成膜の剥離・微粒子形成
超純水の製造法
付着状態の分類
微粒子付着(パーティクル)，異物付着(液状，固形物)
物質付着(物理付着，化学吸着)，表面反応
付着粒子の運動方程式（ Lagrange法，Euler法 )
２．クリーンルームの基礎知識
クリーンルームの定義（JIS
Z ８１２２）
クリーンルームクラスの表示
空間の浮遊粒子の大きさは粒径分布を持つ
半導体工場のクリーンルーム方式
ミニエンバイロンメント方式
クリーンルーム技術のトレンド
各クリーンルームの平均ダスト数（例）
空調の循環回数とウェーハ上の異物付着数
清浄度クラスの考え方（Fed.Std.２０９Dで表示）
微粒子のサイズと濃度（ISOクラス表示）
クリーンルームの４原則
原則１：クリーンルームにゴミを持込まない
持込品管理と教育，フィルターの維持管理
原則２：クリーンルームでゴミを発生させない
発塵源の洗出しと有効な対策
生産装置の発塵対策
人体からの発塵低減対策（無塵服・動作）
低発塵材料・備品の採用
原則３：クリーンルームでゴミを付着させない
防塵カバーの設置
製品と装置・備品との距離・高さの規定と遵守
装置・構造物に付着しにくい工夫
（コーナー面取り・気流方向）
原則４：クリーンルームのゴミは排除する
ゴミの捨て方,ルールの見直しと規定化
清掃方法の見直しと規定化
換気回数のアップと気流計画
発塵源からの直接排気
層流CRでの強制的な発塵除去
HEPAフィルター
皮膚からの発塵の可能性
表皮の新陳代謝サイクル，一日あたりの脱落数
超純水の品質基準
クリーン化・６S対策の考え方は
３．クリーン化の基礎データ
軍手と綿手からの発塵
叩き回数，擦り速度
防塵化カバーの効果
素手からの発塵
素手の繰り返し叩き発塵数
導電性手袋からの発塵
溶着手袋からの発塵
ＰＶＣ溶着無塵手袋からのメタルの溶出
ハンドリング時の発塵
無塵服各部からの発塵
顔面・首・背中・腹部
歩行による発塵数
ハンドリング時の発塵
往復移動５００回
帳票類からの発塵(帳票を５００回めくる)
新品無塵紙，古い無塵紙，ラミネート品
色々な紙からの発塵(手もみ，はたき)
無塵ノート，再生コピー紙，普通ノート，無塵紙
プリンターからの発塵評価
インクジェット，レーザ－，ドット，感熱
ピンセットによる汚染
インナー服の洗濯方法と発塵量・Ｎａ量
クリーン化資材購入額比率，ランニングコスト比率
各清掃方法の効果
真空掃除機，乾拭き一方向，市水一方向，粘着ローラ
外気から衣類へのNaCl付着
喫煙のパーティクルへの影響
床面からのパーティクルの舞い上がり
組立工程の無塵服からの動作発塵性
４．組立工程のクリーン化
組立工程の代表的なパーティクルの粒径分布
組立工程クリーン化の基本的な動向
電子製品の曝露日数の影響
組立工程の代表的な清浄度管理基準値
工程区分，清浄度クラス，温度，湿度，静電気管理基準
組立工程の代表的な静電気管理基準値
リストストラップ，導電靴，導電性マット，導電性床，
無塵衣，導電性手袋，導電性椅子，導電性コンテナ
組立工程の清浄度レベル
組立工程での異物
純水によるシミ・ダイシング屑，装置摩耗粉，モールド屑・
めっき屑・シミ，腐食・接合不良・電特異常，接合不良・
外観不良・クラック誘発・電特ショート
現在の組立工程清浄度レベル
モールド装置ミニエン内の清浄度
年末・年始における堆積塵埃数
チップトレーのメタル系異物
めっきラインからの発塵，発塵の経時変化
簡易ミニエンのフィルターの効果
外観目視エリアでのミニエン効果（Class10000）
パッケージエアコン（PAC)からの塵埃飛散
マガジンからの発塵
５．クリーンルーム作業員教育の実際と考え方
クリーン化の４原則
持ち込まない，発生させない，速やかに除去，堆積させない
クリーン化標語
クリーンルームの教育の重要項目
クリーンルーム内での注意事項
１ 作業者は気流方向からみて製品のうしろ側
２ 不要な動作は発塵源となる
３ 私語は慎む。マスクからの発塵あり
４ 無塵紙を使う。古いもの、すぎちょびると発塵源
５ 清浄な作業台かその上方での作業、 落ちたものは
使わない
６ 無塵服は常に正しく着用する。すきまから発塵する
７ 工具・器具・筆記具は（鉛筆禁止）乱暴に扱わない。
８ 歩行・作業はゆっくりと
（走るな、慌てるな、急ぐな、きょろきょろするな）
９ 汚れたもので他のものを触らない。
１０ゴミ箱は置かないないのが理想
１１たばこは発塵源。影響は喫煙後概ね１５分続く
１２静電気の誘導帯電には気をつけろ
装置と設備の注意点
１ ゴミの発生量が少ない材料を選ぶ
２ 稼動時・作業時の発塵量を測定しておく
３ ゴミの溜まりやすい構造は避ける
４ 供給ガス・純水には適切なフィルターをつける
５ ケーブルはゴミが溜まり易いので束ねて浮かす工夫を
６ 静電気を生じる材料はゴミを付きやすくする
７ 製品の出し入れ・開閉作業のゴミに注意。
気流が流れ込まないように
装置と設備の配置
１ 掃除しやすいレイアウトする
２ 真空ポンプはクリーンルーム外に出す。
やむ得ない場合はカバーを付けで局排する
３ ガス，純水などの配管は掃除がし易いものに
４ 製造設備との配線接続は作業台等に固定，床置き禁止
製造設備・関連設備の注意事項
１ 設備にゴミが堆積しないよう定期的に掃除する
２ 摺動・磨耗部（ベルト含む）は定期掃除、定期交換
３ 室内の温湿度管理に注意する。装置のON－OFFで
結露しないようにする。錆は発塵源
４ 静電気対策も考慮し設備のアースは必ず接地する。
電位がフローティングになら ないように注意する
製造設備・関連設備の保全
１ 設備や装置の修理作業は発塵を伴うので搬出
可能なものはクリーンルームの外で修理を行う
２ クリーンルームに隣接して補修用作業室を設ける
３ 治工具類はクリーンルーム内専用とし、持ち出さない
４ 装置や設備からの脱ガス等を考慮し十分な養生を行う
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クリーンルーム内工事業者受入時の教育
１ 入場体制と手続き
①入場制限 ②入場手続き
２ 面接と教育
①入場目的とスケジュールの確認と許可
②持込物の制限について③無塵服の着用説明
④手洗いの実施 ⑤エアシャワー ⑥ドアの開閉
３ 検査・点検項目
①工具箱・工具のチェックと 持ち込み品制限
②搬入装置の梱包解きと拭き取り作業
③発塵物の持込みとクリーンルーム作業の判定
④発塵作業の防止
４ 受入体制
①受入責任者の明確化 ②作業中の立会い
５ 退場手続き持ち込み品の管理
持ち込み可能なもの
記録紙；無塵紙・ラミネート紙・カードケース
筆記具；表示シールのないボールペン，油性ペン
文具類；はさみ，カッター，定規
各種工具；工具箱に入れた常設のもの。
その他；パソコン，電卓，デジカメ，，ＰＨＳなど
持ち込み禁止品
記録紙；普通紙
筆記具；鉛筆，消しゴム，修正液，プリントした筆記具
文具類；紙製表示シールありのもの
各種工具；発塵の恐れがあるもの
その他；紙，布，木製，皮品，食品，動植物，
タバコ，ライター
ハンカチ，ティッシュ，腕時計，ブレスレット，化粧品
ゴミの見つかり易い隠れたところ
更衣室すのこの下；髪の毛，ふけ、繊維屑
エアシャワー内、扉アームの上とで出入り口の隅
搬送容器の壁面，ピンセット類の表面
クリーンルームの壁と床の隅，台車の車輪と軸受
無塵衣の内側，工具類の柄の先
エアの吹き出し口周辺，拭き取り材で拭き取った後
ゴミ箱（ゴミ以外のゴミ），テープの剥れた箇所
イオナイザーの針 ，更衣ロッカーの上，顕微鏡の下
作業台の脚と床付近 ，装置ケーブル配線の下
装置の製品出し入れ口付近，天井と底部
クリーンルーム内での災害
建屋
密閉構造，火災・地震、災害発生時避難困難
空調
循環エア／陽圧エア／層流エア，火災・災害の拡大、
有害ガスの拡散，騒音（耳鳴り・頭痛）
湿度（体温調節不具合)
製造装置
使用エネルギー，爆発・火災・有毒ガス発生
無人化・自動化異常の発見遅れ
薬品・ガス
危険物質・薬品・エッチングガス，有毒ガス発生・火傷・爆発
静電気・電気
火傷・製品破壊・感電・火災
レーザー・放射線
火傷・皮膚障害・有毒ガス
クリーンルームの日常管理
清浄度管理，イオン濃度管理，放置ウェーハ，気流チェック，
精密目視，製品異物・欠陥検査
異物・パターン欠陥検査・解析フォロー
クリーン化に求められるもの
クリーン化意識の植付け，投資抑制（金をかけすぎない）
クリーン化の運用指導，６Ｓの徹底教育，
必要な清浄度の判定
製品要求レベルの検証，維持・管理の仕組み作り
５Ｓ・６Ｓの定義と見直し
見える化，見せる化，分かる化
クリーン化対策実施項目例
クリーン化活動
装置とグレーチングの大清掃，毎日５分間清掃の実施，
専門家による診断，無塵服の更新，防塵カバーの設置
建屋のエアリークチェック，持込み管理規程の強化
クリーン化・静電気対策の基礎教育実施
静電気対策
装置へのアース，ピンセット導電性化，カセットの導電性化，
イオナイザー，導電靴，保管棚や文具の静電気対策
６．静電気対策の基礎知識
静電気の３原則・・・必ずある，気がつかない，常に変わる
静電気対策は意外と投資が嵩む
静電気対策における抵抗の範囲
誘導帯電による放電の危険性
静電気と湿度の関係とは？
湿度と不良発生との関係，加湿前後の人体帯電
静電気とパーティクル付着の関係
静電気で吸着した異物は取れにくい
イオナイザーの留意点
選定，除電面積・距離・風量の考慮，メンテナンス性の考慮
ＥＳＡ管理基準の考え方
静電気の影響による異物付着（ESA）
帯電させたウェーハの研磨時異物残留率
ウェーハ誘導帯電の距離依存性
強帯電体（１２ｋV）からの誘導帯電
ウェーハのESDに対する破壊耐量
Particle付着に対するウェーハ曝露の許容時間
カセットケース材の表面抵抗と付着ダスト数
拡散炉におけるイオナイザー設置効果
除電ブロワ－のイオン電位の距離依存性
イオナイザーの効果
電極への粒子付着
シリコ－ンチューブ帯電時のエアピンセットの帯電
台車搬送時の製品マガジンの帯電電位の変化
台車車輪種別の帯電量
非導電床での台車走行時の帯電量
見落としやすい静電気発生源
椅子座面の帯電電位，椅子での座り作業時の帯電
ペン，キングファイルの帯電電位
ラミネート掲示物の静電対策
ウェーハキャリアケースの帯電
プラスチックの特性と価格
導電性搬送容器へのＥＳＡ効果
７．最近のクリーン化技術の動向と問題点
一般的な化学汚染物質と発生源
ＬＰ‐ＣＶＤでの微小異物の分布
ロードロック室真空開放時の発塵
８．有機汚染の基礎データ
環境中，汚染物質のおおよその量
CR内各種材料からの有機材の脱ガス量
外調機、空調機、ストッカーでの有機物濃度
ストッカー内の有機汚染物質
酸化膜耐圧不良への有機汚染の影響評価
蛍光灯・ＣＲＴからの脱ガス
ケミカル汚染対策は電源ケーブルも対象
クリーンルーム内汚染物質の管理目安
ガラス容器材質中の金属含有量
超純水中のCa，Mgの影響
９．ミニエンの基礎知識
代表的なミニエンのケース
ウェーハ径と１ロットの全表面積（Ｓｔ）
FOUPの清浄度評価（PWP)
FOUPの有機脱ガスの目安
300mmFOUP方式の構成
１０．ミニエンの基礎データ
SMIF・FOUPの清浄度性
FOUPボックス内での脱ガス量とウェーハへの吸着
FOUP内へのF,Clの持込み
FOUP内の汚染評価
FOUPの洗浄効果
１１．その他のクリーン化データー
Chemical filter の効果
WACB内ウェーハ保管による効果
Cu汚染の可能性
Cuの存在状態
ウェーハのカセットによるCu汚染
Ｐのクロスコンタミ |
