【本講座で学べること】
・リビングアニオン重合および得られるブロック共重合体の誘導自己組織化を利用したDSAリソグラフィについて説明する。
・リビングアニオン重合は重合過程において制約が大きい重合法であることから、他の重合法と比較して量産化に高い壁があった。
・当社で開発した重合装置を用いたブロック共重合体の重合例を紹介するとともに、DSAリソグラフィへの展開について説明する。
【講座概要】
DSA(誘導自己組織化:Directed Self-Assembly)技術は低コストで微細なパターン形成が可能なため次世代のリソグラフィ技術として期待されている。また、現状のリソグラフィ技術とDSAを組み合わせることでより微細な規則的なパターン形成が可能となる。DSAプロセスはBCP(ブロックコポリマー:Block
Copolymer)がミクロ相分離構造を形成する特徴を用いてパターンを形成する。BCPの自己組織化によって得られた相分離領域はポリマーのサイズ(分子量)と相関する。すなわち、ポリマーサイズの厳密な制御が必要となることから、DSAプロセスに適応させるポリマーはサイズをより精密に制御し,量産する技術が要求されている。我々のリビングアニオン重合技術を用いた取り組みについて紹介する。
1.はじめに
2.リビングアニオン重合
2.1 リビングアニオン重合の概要
2.2 次世代リソグラフィー技術:DSA(Directed Self-Assembly)の紹介
2.3 リビングアニオン重合で合成したポリマーのDSA応用
3.量産用重合装置
3.1 装置の概要
3.2 PS-b-PMMAの合成
4.High-χ材料
4.1 χパラメータ
4.2 High-χ材料の合成
5.今後の課題
【質疑応答】
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