PFAS規制の動向と半導体業界への影響、対応状況
　　　　　　　　
先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
PFASの規制動向と対応技術
　
＜セミナー　No.510452＞
【 アーカイブ配信】 （２０２５年１０月７日（火） Live配信の録画配信です）
★EUの規制案の検討状況を中心に海外・国内のPFAS規制の最新動向を解説
　半導体製造でPFASが使われている工程、処理方法の現状、そして代替可能性を探る

PFAS規制の動向と
半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性
■　講師

(株)ISTL　代表取締役社長　博士(工学)　礒部 晶 氏

1984−2002　日本電気(株)にて半導体プロセス開発
2002−2006　(株)東京精密にてCMP事業執行役員
2006−2013　ニッタハース(株)にてテクニカルサポートセンター長等
2013−2015　(株)ディスコにて新規事業担当
2015−　(株)ISTL設立し現在に至る　技術・事業アドバイザー、各種セミナー講師等

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会幹事（2006−）
■　開催要領
日　時 ： 【アーカイブ（録画）配信】 ２０２５年１０月１７日まで受付（視聴期間：１０月１７日〜１０月２７日まで）
　 （※２０２５年１０月７日（火） Live配信の録画配信です）
会　場 ： ZOOMを利用したLive配信またはアーカイブ配信　※会場での講義は行いません
セミナーの接続確認・受講手順は「こちら」をご確認下さい。
聴講料 ： 1名につき４９，５００円（消費税込・資料付き）
〔１社２名以上同時申込の場合１名につき４４，０００円（税込）〕
〔大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくは上部の「アカデミック価格」をご覧下さい〕
■　プログラム

【本セミナーで学べること】
・PFASとは何か
・国内外のPFAS規制条約法令の動向
・PFASが用いられる半導体工程の詳細
・半導体PFAS代替の動向
・半導体工場の排水処理システム


【講座概要】
PFASについてはニュースでもしばしば取り上げられるようになり、一般の関心も高くなっている。POPs条約で規定されている一部の有害なPFASについては日本国内では化審法により規制されている。一方、EUではREACH規則による全面的な使用制限が検討されており、今後の動向に注目が集まっている。本講ではPFAS規制の海外国内の動向、特にEUの包括規制案の動向について解説する。また、PFASは様々な用途に用いられ、半導体製造工程でもその応用は多岐にわたっている。PFASが用いられていると考えられる工程の内容とその代替可能性、排水処理方法の現状等について解説する。

１．PFASとは？
　・PFASの定義
　・国内・海外のPFAS関連ニュース
　・製品ライフサイクルとPFASの人体・環境への影響

２．PFAS規制の動向
　・ストックホルム条約
　・国内の規制〜化審法、水道法
　・欧州の規制〜REACHの包括規制案の状況
　・米国の規制

３．PFASの分析技術・処理技術
　・分析方法〜LC-MS／MS、GC-MS／MS
　・総量分析
　・焼却処理
　・その他の処理方法

４．半導体産業への影響
　・半導体とは？
　・半導体製造プロセス
　・3Mショック
　・PFAS使用工程
　・ドライエッチング〜チラーの冷媒
　・リソグラフィー〜フォトレジストの添加剤、ペリクル材料
　　・ウエットエッチング〜エッチング液の添加剤
　　・超純水配管
　　・後工程部材〜モールド材、DAF、パッケージ基板材料
　・半導体工場の排水・廃液処理システム
　・排水管理基準
　・半導体材料・部材メーカーの対応状況
　・半導体企業の対応状況


【質疑応答】