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【この講座で学べること】
・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の原理と基礎知識
・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の特徴と使い分け
・表面分析（XPS、AES、TOF-SIMS）の使い方
・表面分析結果解釈の実例
【講座概要】
表面・界面は、あらゆる固体材料・デバイスにおいて、機械的接合、電気的接合、変色、防食など多様な機能に関与しています。特にXPS、AES、TOF-SIMSといった代表的な表面分析は、固体表面の数nm（数十原子層、分子層）の組成や状態を明らかにし、固体最表面および界面を詳しく調べることができます。ただし、試料の取り扱いやデータの解釈には細心の注意が必要です。
本講座では実践的な表面分析のノウハウを述べるとともに、現代の重要材料の分析事例を通して、表面分析を適切に活用するための視点や判断の要点を明らかにします。
１．固体表面分析（XPS,AES,TOF-SIMS）の基礎
1.1 表面数原子・数分子層の重要性
1.2 なぜ極表面の分析や極薄膜の分析が可能になるのか?
1.3 表面分析法の比較
1.4他の分析手法と比較した特徴
２．表面分析をはじめる前に
2.1 試料の観察
2.2 表面分析のための試料の取り扱い
2.3 分析時の表面汚染を避けるテクニック
３．XPS分析
3.1 XPS分析の原理
3.2 XPS分析の特徴
3.3 ワイドスペクトル、元素の同定
3.4 ナロースペクトル、定量
3.5 化学状態分析
3.6 深さ方向分析
3.7 XPSの分析事例
４．AES分析
4.1 AES分析の原理
4.2 AES分析の特徴
4.3 チャージアップへの対応
4.4 スペクトル測定、元素の同定
4.5 マップ測定
4.6 深さ方向分析
4.7 AESの分析事例
５．TOF-SIMS分析
5.1 TOF-SIMS分析の原理
5.2 TOF-SIMS分析の特徴
5.3 チャージアップへの対応
5.4 スペクトル測定、イオンの同定
5.5 マップ測定、異物の観察
5.6 TOF-SIMSの分析例
６．表面分析の組み合わせとデータ処理
6.1 多変量解析（TFA）によるデータマッサージ
6.2 多変量解析（MCR）による未知成分抽出
6.3 電子材料の分析例
6.4 有機高分子材料の分析例
【質疑応答】
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