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【講座の趣旨】
本講座の趣旨は,半導体の放熱基板として使用されている窒化アルミニウム(AlN)セラミックスの焼結挙動に対する焼結助剤の作用や役割を,化学反応とAlNの結晶構造の変化をもとに解説する事により,より高い熱伝導率をもつAlNセラミックス得るための焼結条件を示す事である。
【習得できる知識】
化学反応,共晶点効果とAlNの構造解析及び,AlNセラミックスの熱伝導率に関する知識を得る事ができる。
1.物質としてのAlN
1.1 AlNの化学的性質
1.2 結晶構造
2.セラミックスとしてのAlN
2.1 AlNセラミックスとその用途
3.AlNのセラミックス化のための熱処理条件(電気炉を含む)
3.1 様々なセラミックス用電気炉
3.2 熱処理用雰囲気
4.AlNセラミックス化に対する焼結助剤の役割とメカニズム(化学反応を含む)
4.1 焼結挙動(セラミックス化)と固相拡散
4.2 セラミックス化中における焼結助剤の物理変化と化学変化
4.3 溶解再析出機構
5.AlNの結晶構造とセラミックス化の関係
5.1 AlNの結晶構造と構造内の酸素欠損
5.2 酸素欠損と固相拡散
6.AlNセラミックスの熱伝導率
6.1 AlNの熱伝導率と酸素欠損
6.2 カーボン還元反応と酸素欠損と熱伝導率
【質疑応答】
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