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【講演概要】
次世代パワーデバイス向けの高耐熱ナノソルダー接合材料について、材料設計から接合メカニズムまで紹介する。さらに技術的特長と信頼性評価、量産技術までを概説し、実装プロセス革新への有効性を示す。
【受講後、習得できること】
マイクロ粒子とナノ粒子を用いたTLPS接合原理、ナノ粒子による高速反応と耐熱化の仕組み、超音波キャビテーションによるナノ粒子製造技術、の要点を習得できる。
1.背景
1.1 パワーデバイス高性能化の動向
1.2 接合材料が果たす役割
2.従来技術の課題
2.1 鉛フリーはんだの限界
2.2 銀焼結材料の特長と課題
2.3 銅焼結材料のメリットと問題点
2.4 高温・長時間プロセスによるエネルギー消費
3.ナノソルダー接合材料のコンセプト
3.1 ナノソルダーの材料構成
3.2 TLPS(遷移的液相焼結)技術の概要
4.接合メカニズム
4.1 低融点マイクロ粒子の液相化挙動
4.2 高融点ナノ粒子との相互拡散
4.3 高融点金属間化合物の形成
4.4 低温短時間接合と高耐熱化の両立
5.接合体構造と特性
5.1 海島構造(α相/β相)の特徴
5.2 再溶融温度と耐熱性
6.接合信頼性評価
6.1 温度サイクル試験
6.2 破断進展率評価
6.3 ペースト保存安定性
7.高品質ナノ粒子技術
7.1 超音波キャビテーションの原理
7.2 ナノ粒子形成メカニズム
8.熱分析による材料特性評価
8.1 接合前後の熱分析挙動
8.2 再溶融しない耐熱接合の検証
9.量産技術開発
9.1 ナノソルダー製造プロセス全体像
9.2 前処理工程による生産性向上
10.まとめと将来展望
【質疑応答】
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