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【１０：３０〜１１：５０】
第１部 人工ダイヤモンドの最前線と未来
●講師 Orbray(株) ダイヤモンド事業統括本部 大阪ダイヤモンド研究所 執行役員 統括本部長
兼 研究所所長 博士(工学) 金 聖祐 氏
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【講座の趣旨】
ダイヤモンド半導体の産業応用に向けては，大面積基板の実現が重要な課題である。当社では独自の結晶成長技術により3インチを超える大口径ダイヤモンド基板の作製に成功した。本講演では，その成長技術と開発成果を解説する。
【セミナープログラム】
１．背景
２．人工ダイヤモンドの歴史と課題
2.1 歴史と課題
2.2 様々な人工ダイヤモンドの作製方法
３．サファイア基板上のヘテロエピタキシャル法による(100)大口径単結晶ダイヤモンド
3.1 KENZAN DiamondTM法
3.2 ステップフロー成長TM法
４．世界初・世界最大サイズの(111)ヘテロエピタキシャルダイヤモンド
５．ヘテロエピタキシャルダイヤモンドの各種デバイスへの応用
６．まとめ
【質疑応答】
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【１２：５０〜１４：００】
第２部 プラズマ援用研磨（PAP）によるダイヤモンドの超精密加工
〜加工異方性の消失と原子レベルの超平滑無歪表面の創成〜
●講師 大阪大学 大学院工学研究科
栄誉教授 博士(工学) 山村 和也
氏
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【講座の趣旨】
ダイヤモンドは極めて優れた材料特性を有する一方，結晶方位依存の加工異方性や加工損傷の発生が超精密加工の大きな課題である。本講座では，プラズマ援用研磨（PAP）による加工異方性の消失機構と原子レベル超平滑無歪表面の創成原理について，界面反応，原子除去機構，最新の研究成果を交えながら解説する。
【セミナープログラム】
１．ダイヤモンド超精密加工の現状と課題
1.1 ダイヤモンド材料の特徴と産業応用
1.2 超精密加工に求められる表面品質
1.3 加工異方性と加工損傷の発生機構
1.4 従来研磨技術の限界
２．プラズマ援用研磨（PAP）の原理
2.1 PAPの基本概念と特徴
2.2 プラズマによる表面活性化機構
2.3 PAP装置構成と加工プロセス
2.4 他の研磨法との比較
３．PAPによるダイヤモンドの超平滑化
3.1 単結晶ダイヤモンドの加工特性
3.2 多結晶ダイヤモンドの平滑化
3.3 原子レベル超平滑表面の形成
3.4 加工速度と表面品質の両立
４．加工異方性消失のメカニズム
4.1 結晶方位依存性の変化
4.2 界面反応とSi?O?C架橋形成
4.3 原子除去過程の変化
4.4 Push-ShearからPull-Shearへの遷移
4.5 加工異方性消失の学理
【質疑応答】
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【１４：１０〜１５：２０】
第３部 ダイヤモンドNV調子センサの開発動向，高感度化と応用展開
●講師 京都大学 化学研究所 無機フォトニクス材料研究領域
教授 博士(理学) 水落 憲和
氏
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【講座の趣旨】
ダイヤモンド中のNV中心は近年，超高感度・超高分解能センサ，バイオ応用等の幅広 い分野において学術および応用の両面から注目されている。センサとしては主に磁
場，電場，温度などのセンサとして注目され，既存のものよりも桁違いに高い感度を 持つセンサ素子への応用が期待されている。本講座では測定法等の基本的なことから
最近のトピックスまで紹介する。
【セミナープログラム】
１．序論
1.1 ダイヤモンド 〜合成等の近年の動向について〜
1.2 NV中心の紹介
1.3 NV中心を用いた量子センサに関するトピックスの概略
2．NV量子センサの基本原理と技術
〜なぜ感度や空間分解能を良くできるのか？どのように計測するか？〜
2.1 NV中心の作製法
2.2 NV中心のスピン計測の原理と実験方法
2.3 様々な量子センシング手法と技術
３．応用例，トピックス
3.1 NV中心を用いた量子センサの応用例，トピックス
3.2 生命科学応用例
3.3 国内外の産業界の動向 〜産業界も注目，政府も支援〜
４．近年の我々の研究
4.1 ダイヤモンド量子センサの高感度化技術開発研究
4.2 量子センシング手法の開発研究
4.3 ダイヤモンド合成とNV作製研究
4.4 ナノダイヤモンドを用いた研究
【質疑応答】
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【１５：３０〜１６：４０】
第４部 人工ダイヤモンドの研究・応用の動き，事例
〜導電性ダイヤモンド電極の医療・環境・エネルギー応用展開を中心に〜
●講師 慶應義塾大学 理工学部
教授 博士(工学) 栄長 泰明 氏
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【講座概要】
高濃度でホウ素をドープした導電性の「ダイヤモンド電極」は，優れた導電性・耐久性・電気化学特性を示します。ここでは，高感度センサー等の医療応用，CO2から有価物を高効率合成する技術への展開などについて解説します。
【セミナープログラム】
１．はじめに
２．ダイヤモンド電極の作製と電気化学特性
３．高感度環境計測・生体計測への応用
3.1 電気化学センサー
3.2 電気化学発光
3.3 環境計測
3.4 生体計測
４．水処理への応用
５．CO2還元・有用物質合成への応用
5.1 オゾン水生成
5.2 有機電解合成
5.3 CO2還元による有価物合成
６．ダイヤモンド電極の基礎物性と電気化学特性
７．おわりに
【質疑応答】
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