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【講演概要】
本講座では、ダイシングテープの基本設計について、材料の観点から紫外線硬化型粘着剤を中心に解説する。さらに、プロービングプロセスに着目し、粘着剤における課題とその解決策について説明する。具体的には、紫外線照射前に
150℃で8時間 という厳しい加熱条件を経た後でも、紫外線照射によって粘着力を制御できる耐熱紫外線硬化型ダイシングテープの材料設計と特性評価結果を紹介する。
【受講対象】
ダイシングテープの基礎や基本的な性能について知りたい方、耐熱ダイシングテープに求められている各性能の動向について知りたい方
1.粘接着材料概論
1.1 代表的な粘着剤主成分材料の分子骨格
1.2 代表的な粘着剤主成分材料の特徴
1.3 ポリアクリル酸エステルの設計
1.4 アクリル酸共重合ポリマーの粘弾性測定結果
2.半導体パッケージと製造工程について
2.1 半導体パッケージとは・・・
2.2 半導体パッケージの製造工程
2.2.1 ウェハ研削工程
2.2.2 ウェハ個片化工程
2.2.3 パッケージ製造工程
3.ダイシングテープの基礎知識
3.1 ダイシングテープとは・・・
3.2 ダイシングテープに要求される性能
3.3 粘着力の制御
3.4 粘着剤残渣の抑制
3.5 チッピングの抑制
3.6 切削片の抑制
3.7 易ピックアップ性
4.耐熱紫外線硬化型ダイシングテープの紹介
4.1 本テープの必要性と利点
4.2 既存品の現状と課題
4.3 開発方針
4.3.1 光開始剤の選定
4.3.2 ラジカル捕捉剤の選定
4.4 プロセス評価
【質疑応答】
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