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【講座概要】
真空関連業務を始めて1年程度以内の方、初歩的な超高真空技術を復習したい方を対象に、数式は極力使わずに、図や動画を利用して超高真空技術の基礎、真空計、真空ポンプ、真空材料等について解説します。
真空関連業務や超高真空装置の製作を行う際に必要な最低限の知識についてご講演を致します。
【受講対象】
・真空関連業務を担当する方
・超高真空初心者の方
・初歩的な超高真空技術の復習をしたい方
【受講後、習得できること】
・超高真空技術の基礎
・真空計の知識と計測原理
・真空ポンプの知識と排気原理
・真空材料の知識とガス放出について
1.超高真空技術の基礎
1.1 真空の定義
1.2 圧力の単位
1.3 真空排気中の圧力の時間依存性
1.4 残留ガスの成分
1.5 真空中の気体分子の個数
1.6 気体分子の平均速度
1.7 気体分子の平均自由行程
1.8 気体分子と真空容器表面との衝突
1.9 表面への分子の吸着
1.10 粘性流と分子流
1.11 排気速度と排気にかかる時間
1.12 ベーキング
1.13 コンダクタンス
1.14 真空ポンプの実効排気速度
2.種々の真空計とそれぞれの計測原理
2.1 真空計の分類
2.2 真空計の測定範囲
2.3 ブルドン管真空計
2.4 隔膜真空計
2.5 熱伝導真空計
2.6 ピラニ真空計
2.7 電離真空計
2.8 冷陰極電離真空計
2.9 熱陰極電離真空計
2.10 気体の種類による感度の違い
2.11 分圧計
2.12 四重極型質量分析器
2.13 残留ガス分析
3.種々の真空ポンプとそれぞれの排気原理
3.1 真空ポンプの分類
3.2 気体輸送式ポンプの種類と性能指標
3.3 気体ため込み式ポンプの種類と性能指標
3.4 各種ポンプの動作圧力範囲
3.5 油回転ポンプ
3.6 ドライ真空ポンプ
3.7 多段ルーツポンプ
3.8 スクリュー真空ポンプ
3.9 ダイアフラムポンプ
3.10 ターボ分子ポンプ
3.11 クライオポンプ
3.12 スパッタイオンポンプ
3.13 非蒸発型ゲッタポンプ
4.真空用材料・真空部品とガス放出
4.1 ステンレス鋼
4.2 アルミ合金
4.3 チタン合金
4.4 高融点金属
4.5 有機系材料
4.6 潤滑剤
4.7 コンフラットフランジ
4.8 無酸素銅ガスケット
4.9 配管部品
4.10 配線材料
4.11 大気圧乾燥窒素導入システム
4.12 超高真空装置製作技術設計の指針
4.13 表面処理法
4.14 ベーキング技術
4.15 リークチェック法
5.おわりに
【質疑応答】
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