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【講座の趣旨】
半導体の微細化限界を突破する鍵として世界的に注目を集めるガラスコアサブストレート について、課題や最近の動向について解説する。
【セミナープログラム】
1.ガラスコアサブストレートの基礎
1.1 採用のモチベーション
1.2 アプリケーション、市場性
1.3 プロセス
2.克服すべき課題、そして量産への壁
2.1 メタライゼーション
2.2 マイクロクラック
2.3 検査
2.4 品質
2.5 信頼性
3.ガラスコアサブストレートの動向
3.1 サプライチェーン
3.2 最近の動向
【質疑応答】
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