【講演概要】
発熱源になっているICのトレンドを勘案すると,ベーパ―チャンバーは放熱の効率,小型薄層化の容易性,また循環ポンプが不要なことから,今後一層,適用が広がると考えられる。本講座では,とくにベーパ―チャンバーのMEMS適用について,発熱源の微細・局所化に対応する観点から,ベアダイを直接冷却することも想定して解説をする。
【受講対象】
例えば,ICの熱設計者,ICパッケージ技術者,パッケージ材料,パッケージ工程装置,材料,冷媒 など
【受講後、習得できること】
ヒートパイプおよびベーパ―チャンバーの熱力学による理解,ベーパ―チャンバーに係るICの放熱方法
1.ベーパーチャンバーの背景
1.1 ベーパーチャンバーの市場とプレーヤー
1.2 ベーパーチャンバーの用途
1.3 モバイル機器とベーパーチャンバー
2.放熱の原理
2.1 ヒートパイプの熱力学
2.2 ベーパーチャンバーの放熱
3.ICの放熱
3.1 システムLSIのロードマップ
3.2 ICパッケージのロードマップ
3.3 ICの放熱システム
4.MEMSベーパーチャンバー
4.1 なぜMEMS
4.2 MEMSベーパーチャンバーの構成
4.3 MEMSベーパーチャンバーによる放熱
5.MEMSベーパーチャンバーのその先
5.1 オーガニックランキンサイクル
5.2 MEMS発電システム
5.3 MEMS冷凍システム
【質疑応答】
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