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【この講座で学べること】
・薄膜の機械的特性の基礎
・機械的特性評価法と評価装置のしくみ
・測定・評価にあたっての注意すべき点
・一般および特殊な応用事例
【講座概要】
本講習会では、薄膜の機能発現を支える機械的特性の評価技術について、基礎から実践まで体系的に解説します。まず、薄膜の基礎知識と内部応力の発生機構、ならびにその測定方法を学びます。続いて、ナノインデンテーション法、原子間力顕微鏡（AFM）、表面弾性波法を用いたヤング率・硬さ・粘弾性・密着性・耐摩耗性の評価法を紹介するとともに、スクラッチ試験やAFM摩耗試験の活用例を説明します。さらに、固液界面に形成される吸着膜や高分子膨潤膜など超薄膜の評価技術にも触れ、最新の表面・界面計測技術とその応用について理解を深めます。
１．はじめに
1.1 薄膜について
1.2 薄膜の機能と機械的特性
２．薄膜の内部応力
2.1 熱応力と真応力
2.2 内部応力の測定方法
３．機械的特性
3.1 ヤング率と硬さ
3.1.1 ナノインデンテーション法によるヤング率と硬さ測定
3.1.2 原子間力顕微鏡による硬さ測定
3.1.3 表面弾性波法よるヤング率測定
3.2 粘弾性
3.2.1 ナノインデンテーション法による粘弾性測定
3.3 密着性
3.3.1 密着性評価方法
3.3.2 スクラッチ法による密着性評価
3.4 耐摩耗性
3.4.1 原子間力顕微鏡よる摩耗試験
3.5 固液界面の超薄膜
3.5.1 吸着膜の評価
3.5.2 高分子膨潤膜の評価
４．おわりに
【質疑応答】
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