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【ご専門】 半導体製造プロセス クリーン化技術 静電気対策
【ご活躍】
元ピュリフィケーション研究会副委員長
月刊クリーンテクノロジー編集委員
【講演ポイント】
クリーンルームの清浄度維持には，空調や設備などのハード面の管理と作業員動きや作業ルールなどのソフト面の両方の科学的理解が必要である。
特に後者は，教科書も少なく，「自社の管理手法の根拠や妥当性」は自社固有のものであり、異物不良率低減に直結した課題である。ここに科学的知識が必要となる。
本講座では，ハード面での対策、作業員の守るべきルールやその理由を発塵の比較などデータに基づいて，また動画で確認しながらクリーンルームの維持管理手法について科学的に優しく解説する。加えて静電気の本質を科学的に紐解きながら基礎知識を確認しながら具体的な対策について解説する。
【習得できる知識】
・異物・塵埃の発生メカニズムと挙動
・クリーン化対策の基本
・静電気発生メカニズムの理論と対策
・作業員のクリーン化啓蒙と教育方法
・清掃の基本
【プログラム】
１．クリーン化の目的とは
２．クリーン化技術の基礎知識
2.1 クリーン化技術の目的
2.2 塵埃対策に対する考え方
2.3 語源で見る塵埃と清浄の大きさと持つ意味
2.4 塵埃・異物の大きさの定義
2.5 PM2.5に見る、浮遊粒子の形状
2.6 SPMとPM2.5
2.7 除塵対象の大きさのイメージ
2.8 クリーン化の4原則
2.9 クリーンルームの簡単なイメージ
2.10 クリーンルームの表示
３．異物や塵埃の動き
3.1 製造現場で見かける異物・塵埃と由来判定の方法
3.2 非クリーンルーム内へ侵入する塵埃
3.3 塵埃の6大特徴
3.4 塵埃の発生由来と付着・吸着の形態
3.5 作業環境での発塵源
3.6 塵埃・異物が見える大きさとイメージ
3.7 動画を用いたパーティクル（塵埃）発生のイメージ
3.8 通行人数と塵埃付着数
3.9 クリーンルームでも大きな塵埃は問題
3.10 塵埃の大きさと相関性
3.11 各気流速度における塵埃の落下と移動
3.12 粒子の大きさと落下時間
3.13 浮遊塵埃の運動方程式
3.14 気流による渦の発生
3.15 扉の開閉による気圧の変化
４．動画で確認する塵埃の発生と流れ
4.1 落下塵の動き
4.2 気流発生時の塵埃の飛散
4.3 足踏み時の塵埃の飛散
4.4 その他
①ポンピングの塵埃発生
②シャツ・靴下・手袋からの発塵
③段ボール・新聞紙・ティッシュからの発塵
④アクリル板に吸着するコットン屑（ESA現象）
⑤気流の渦巻き現象 etc.
５．無塵服からの発塵
６．拭き取り材について
７．静電気について
7.1 静電気の３原則
7.2 静電気の発生と仕事関数
7.3 人体帯電と電撃の強さ
7.4 静電気の摩擦帯電列
7.5 静電気対策の基本となる減衰時間
7.6 静電気対策品の抵抗値の範囲
7.7 静電気と湿度の関係
7.8 作業台周りの静電気対策のコンセプト
7.9 無塵服着用時の腕振り歩行動作による人体の帯電
7.10 カーペット上，靴の種類と人体帯電圧
7.11 ネジ締め作業動作時の帯電電位
7.12 乾空によるプラスチックチューブ材の帯電
7.13 一般作業服の摩擦帯電比較
7.14 器具備品の静電気対策例
7.15 椅子の静電気対策
7.16 掲示板の帯電電位
7.17 非導電床での台車走行時の帯電量
7.18 手押し台車のチェーン取り付け効果
7.19 製造工程での静電気発生場所と静電気対策実施例
7.20 静電気で吸着した塵埃の吸着力
7.21 ESAによるパーティクルの付着
7.22 静電気管理基準値のガイドライン
８．クリーンルームに頼らないクリーン化技術
8.1 クリーンルームだけに頼らないクリーン化の基本
8.2 クリーンルームと一般作業室との比較
8.3 最低限のクリーン化設備について
8.4 非クリーンルームでのクリーン化アプローチ
8.5 クリーンルームのないクリーン化のガイドライン
９．製造現場でのクリーン化技術
9.1 持ち込み品の管理
9.2 ゴミ(塵埃)が見つかり易いところ
9.3 装置と設備の配置と注意点
9.4 製造装置や関連設備で注意項目と保全
9.5 現場で役立つクリーン化標語
１０．作業員の教育
10.1 クリーン化に求められる姿勢
10.2 クリーン化教育の重要項目
10.3 クリーンルームに入ってはいけない人とは
10.4 作業員の衛生管理の基本
１１．６Ｓの見直しと新６Ｓ
１２．清掃の基本
12.1 清掃の基本と考え方
12.2 清掃の種類と用具、評価
12.3 掃除方法の基本
12.4 清掃のその他のチェックポイント
12.5 掃除の原則と周期
12.6 各拭き取り方法の効果
12.7 一方向と往復拭き取りの違い
12.8 清掃後の異物・塵埃のチェック
１３．監査時の指摘や見方
【質疑応答】
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