化学反応装置内の輸送現象の要点とその解析、活用事例セミナー
        
半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング
化工計算によるプロセス設計とスケールアップ
 
<セミナー No.612453>
【 アーカイブ配信】 (2026年11月26日(木) Live配信の録画配信です)

★装置内流れの最適化に向けて、輸送現象を設計する考え方と構築法を学ぶ

化学反応装置内の輸送現象の要点とその解析、活用事例


■ 講師

反応装置工学ラボラトリ 代表/横浜国立大学 名誉教授 博士(工学) 羽深 等 氏

■ 開催要領
日 時 : 【アーカイブ(録画)配信】 2026年12月7日まで受付(視聴期間:12月7日〜12月17日まで)
 
(※2026年11月26日(木) Live配信の録画配信です)
会 場 : ZOOMを利用したLive配信またはアーカイブ配信 ※会場での講義は行いません
セミナーの接続確認・受講手順は「こちら」をご確認下さい。
聴講料 : 1名につき55,000円(消費税込・資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕
〔大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくは上部の「アカデミック価格」をご覧下さい〕
■ プログラム

【この講座で学べること】
・装置内流れを最適化する指針
・輸送現象の基礎(拡散、熱伝導、粘性など)
・身近な輸送現象の例(流れ、拡散、放射など)
・輸送現象を解析する方法(可視化観察、数値シミュレーション)
・化学反応装置内の輸送現象の解析事例
・輸送現象を設計・構築・最適化する方法

【講座概要】
反応装置を作ろうとした時に、何をどこからどこへどのように流そうかと考えた途端に、頭が止まる人が多いと思います。装置内の流れは「作る」ものであり、「なる」ものではありません。化学反応は、指定の場所で反応する物質が出会い、エネルギーを得て励起されることにより生じます。輸送現象は、物質の出会いと励起の両方を決定付けます。本講座では、最初に輸送現象の基礎として拡散、熱伝導、粘性を確認し、流れ、拡散、放射などの身近な事例を確認します。次に、反応装置内の流れを知る方法として、可視化観察と数値シミュレーションを紹介し、それらを用いた化学反応装置内の輸送現象の解析例・改造例・最適化例を紹介します。これらの事例を通して、輸送現象を設計する考え方と、それを構築する方法について学びます。

1.化学反応と輸送現象
 1.1 「分子の出会い」が輸送現象の役割
 1.2 輸送現象(拡散、熱伝導、粘性、など)とは何か
 1.3 流れを調べる方法:計算、観察、など

2.身近な輸送現象
 2.1 もしも輸送現象が無かったら
 2.2 境界層、層流と乱流
 2.3 流れの可視化観察と数値計算

3.化学工業と輸送現象
 3.1 数式による扱い:拡散、熱伝導
 3.2 移動現象を使って生産する例
 3.3 反応器の設計方程式

4.装置改造・最適化の視点
 4.1 液体を使う装置(半導体ウエハ湿式洗浄装置(バッチ・枚葉))
  4.1.1 水噴出ノズルと排出口
  4.1.2 流れを揃える利点
  4.1.3 流れを押し込む方法の例
  4.1.4 超音波の活用:流れと気泡
  4.1.5 境界層を作る・壊す
 4.2 気体を使う装置(化学気相堆積装置)
  4.2.1 ガス置換のその場計測
  4.2.2 循環流の有無と基板/膜界面構造の違い
  4.2.3 基板回転の役割設計
  4.2.4 ガス導入口構造の影響と設計
  4.2.5 複雑な装置を単純化して解析する例

5.輸送現象を活用した安全対策
 5.1 流れを「強制しなかった」ために起こった事故
 5.2 枝管の端までガス置換する方法
 5.3 安全状態を可視化する方法

6.まとめ


【質疑応答】