“dŽq}‘ŠÙTOP
 
 
‘Јꗗ@b@‰»ŠwEƒGƒŒƒNƒgƒƒjƒNƒXŒn‘Јꗗ@b@ˆã–ò•iEˆã—Ë@ŠíEH•iŒn‘Јꗗ@b@ŽGŽˆê——

MEMS@ŽÀ‘•@‰ÁH@‘Ð

1392

‚³‚ç‚È‚é‚‘¬E‚‹@”\‰»A¬Œ^EŒy—ʉ»‚ÖŒü‚¯‚½
‚l‚d‚l‚rƒfƒoƒCƒX‚̉ÁHEŽÀ‘•E•]‰¿‹Zp

MEMS device processing, installation and evaluation technology
¡@Ž·•MŽÒiŒhÌ—ªj
•xŽm’ÊiŠ”j
‘å“ú–{ˆóüiŠ”j
Z—F¸–§H‹ÆiŠ”j
“Œ‹ž‰ž‰»H‹ÆiŠ”j
“Œ–k‘åŠw
–¼ŒÃ‰®‘åŠw
“Œ‹ž‘åŠw
i“ÆjŽY‹Æ‹Zp‘‡Œ¤‹†Š
•xŽm“d‹@ƒAƒhƒoƒ“ƒXƒgƒeƒNƒmƒƒW[iŠ”j
iŠ”j“ú—§»ìŠ
ƒIƒ€ƒƒ“iŠ”j
ƒC[ƒ”ƒBƒOƒ‹[ƒvƒWƒƒƒpƒ“iŠ”j
“Œ‹ž‘åŠw
–k“ˆ ‰ë”V
‘qŽ Œå
¼“c G
ŽO‹÷ _ˆê
‰Hª ˆê”Ž
—Ñ r—Y
ŽO“c ‹g˜Y
ûü–Ø GŽ÷
Œã“¡ —F²
` ¹•½
¬£ _Ži
•‘ë G˜a
ˆÉ“¡ Žõ_
ƒTƒGƒXEƒQƒbƒ^[ƒYEƒWƒƒƒpƒ“iŠ”j
ɪ‘åŠw
•ºŒÉŒ§—§‘åŠw
•Ÿ•HƒZƒ~ƒRƒ“ƒGƒ“ƒWƒjƒAƒŠƒ“ƒOiŠ”j
ƒ}ƒCƒNƒƒXƒg[ƒ“iŠ”j
ƒ}ƒCƒNƒƒXƒg[ƒ“iŠ”j
ƒ}ƒCƒNƒƒXƒg[ƒ“iŠ”j
ƒ}ƒCƒNƒƒXƒg[ƒ“iŠ”j
ƒ}ƒCƒNƒƒXƒg[ƒ“iŠ”j
iŠ”jƒXƒŠƒbƒN
iŠ”jƒG[ƒV[ƒeƒB[EƒGƒ‹ƒGƒXƒAƒC
ƒA[ƒYiŠ”j
“ú–{M†iŠ”j
–xŒû ®•F
âˆä“c Šì‹v
¶’Ã Ž‘‘å
™‰Y Œ’
”’’¹ “T•F
¼àV Œ’
”©ŽR –«
Žsì ˜a–L
‰ª“c Œb–ç
“¡Œ´ W•½
ˆ¢•” G
²“¡ Œõ
‘哇 G•v
¡@–Ú@@ŽŸ
Ÿ@‘æ1Í@‰ÁH‹Zp

‘æ‚Pß@‚l‚d‚l‚rƒfƒoƒCƒX‚É‚¨‚¯‚éŠÑ’ÊE”zü‹Zp

@‚PD‚Í‚¶‚ß‚É

@‚QDƒKƒ‰ƒXŠÑ’ÊE”züŠî”‚̻ì

@@2.1@ŠÑ’ÊE‰ÁH•û–@
@@2.2@ƒTƒ“ƒhƒuƒ‰ƒXƒg‚É‚æ‚éƒKƒ‰ƒXŠÑ’ÊE‰ÁH
@@2.3@ƒŒ[ƒU‚É‚æ‚éƒKƒ‰ƒXŠÑ’ÊE‰ÁH

@‚RDŠÑ’ÊE”zü‹ZpŠJ”­

@@3.1@ŠÑ’ÊE‹à‘®[“U•û–@
@@3.2@–³“d‰ð‹à‚ß‚Á‚«”ç–ŒŒ`¬

@‚SDZnŒn‚Í‚ñ‚¾‡‹à‚É‚æ‚éŠÑ’ÊE”zü‹ZpŠJ”­

@@4.1@ŠÑ’ÊE[“U‚Í‚ñ‚¾‡‹à‚ÌŠJ”­
@@4.2@ŠÑ’ÊE[“UƒvƒƒZƒX
@@4.3@ŠÑ’ÊE”züM—Š«•]‰¿
@@4.4@ƒAƒ‹ƒ~ƒjƒEƒ€2ŽŸ”züŒ`¬‹ZpŠJ”­
@@4.5@ŠÑ’ÊE[“U—ÊŽYƒvƒƒZƒX

@‚TDSn-Ag-Cu‚Í‚ñ‚¾‡‹à‚É‚æ‚éŠÑ’ÊE”zü‹ZpŠJ”­

@@5.1@ŠÑ’ÊE[“U‚Í‚ñ‚¾‡‹à‚ƃvƒƒZƒX
@@5.2@ŠÑ’ÊE”züM—Š«•]‰¿
@@5.3@ŠÑ’ÊE‚ւ̃Aƒ‹ƒ~ƒjƒEƒ€”zü
@@5.4@ƒKƒ‰ƒX^ƒVƒŠƒRƒ“—z‹ÉÚ‡ƒvƒƒZƒX
@@5.5@ƒKƒ‰ƒXŠî”ŠђÊE‚Í‚ñ‚¾[“U\‘¢

@‚UDŠÑ’ÊE[“U—ÊŽYƒvƒƒZƒX


‘æ‚Qß@‚r‚‰ŠÑ’ÊE“d‹ÉŒ`¬‹Zp

@‚PDŠJ”­‚Ì”wŒi

@‚QDSiŠÑ’ÊE“d‹É‚ÌŠJ”­ƒRƒ“ƒZƒvƒg

@‚RDSiŠÑ’ÊE“d‹É‚Ì—v‘f‹Zp

@‚SDSiŠÑ’Ê“d‹É‚Ì“d‹C“Á«

@‚TD‰ž—p“W–]


‘æ‚Rß@‰Â“®“d‹C”zü—pƒAƒ‹ƒ~ƒjƒEƒ€‡‹à”––Œ

@‚PDŽÀŒ±•û–@

@‚QDŒ‹‰Ê‚¨‚æ‚ÑlŽ@

@@2.1@ƒAƒ‹ƒ~ƒjƒEƒ€‡‹à–Œ’†‚Ì’‚‘f‚¨‚æ‚ÑŽ_‘f”Z“x
@@2.2@ƒAƒ‹ƒ~ƒjƒEƒ€‡‹à”––Œ‚Ì”ä’ïR’l‚ÆŒ‹»‘gD
@@2.3@ƒAƒ‹ƒ~ƒjƒEƒ€‡‹à”––Œ‚Ì‹@ŠB“I“Á«
@@2.4@Šp‘¬“xƒZƒ“ƒT‚Ì“Á«

@‚RDŒ‹˜_


‘æ‚Sß‚Í’˜ìŒ ‚Ì“s‡ãAŒfÚ‚µ‚Ä‚¨‚è‚Ü‚¹‚ñ


‘æ‚Tß@ŽŸ¢‘ã‚ÌŠÑ’Ê“d‹É‹Zp

@‚PDŠÑ’Ê“d‹ÉƒvƒƒZƒX‚ɂ‚¢‚Ä

@@1.1@ŠÑ’Ê“d‹É‚̃ƒŠƒbƒg‚ɂ‚¢‚Ä
@@1.2@ŠÑ’Ê“d‹É‚̃[ƒhƒ}ƒbƒv
@@1.3@•\ŠÑ’Ê“d‹ÉƒvƒƒZƒX‚Æ— ŠÑ’Ê“d‹ÉƒvƒƒZƒX‚ɂ‚¢‚Ä

@‚QD”––ŒƒEƒFƒn[ƒnƒ“ƒhƒŠƒ“ƒOƒvƒƒZƒXiƒ[ƒEƒjƒ…[ƒgƒ“TMj‚ɂ‚¢‚Ä

@@2.1@ƒ[ƒEƒjƒ…[ƒgƒ“TM‚Æ‚Í
@@2.2@‰¼Ž~‚ßÚ’…܂ɂ‚¢‚Ä
@@@2.2.1@‘Ï”M«
@@@2.2.2@’EƒKƒX«
@@@2.2.3@‘Ï–ò•i«
@@2.3@‘•’u‚ɂ‚¢‚Ä
@@2.4@ŠÑ’Ê“d‹ÉŒ`¬—á

@‚RDŠÑ’Ê“d‹ÉƒvƒƒZƒXŒü‚¯Þ—¿‚ɂ‚¢‚Ä

@@3.1@[–xƒGƒbƒ`ƒ“ƒO—pƒŒƒWƒXƒg‚ɂ‚¢‚Ä
@@3.2@‚ß‚Á‚«—pƒŒƒWƒXƒg‚ɂ‚¢‚Ä
@@3.3@ƒpƒbƒVƒx[ƒVƒ‡ƒ“—pƒŒƒWƒXƒg‚ɂ‚¢‚Ä

Ÿ@‘æ‚QÍ@ƒGƒbƒ`ƒ“ƒO‹Zp

‘æ‚Pß@‚l‚d‚l‚r‚É‚¨‚¯‚éƒGƒbƒ`ƒ“ƒO‹Zp

@‚PD‚Í‚¶‚ß‚É

@‚QDƒoƒ‹ƒNƒ}ƒCƒNƒƒ}ƒVƒjƒ“ƒO

@@2.1@“™•û«EˆÙ•û«ƒGƒbƒ`ƒ“ƒO‚ÆŒ‹»ˆÙ•û«ƒGƒbƒ`ƒ“ƒO
@@2.2@ƒvƒ‰ƒYƒ}ƒGƒbƒ`ƒ“ƒO
@@2.3@Silicon on InsulatoriSOIjƒEƒGƒn‚ð—p‚¢‚½ƒGƒbƒ`ƒ“ƒO
@@2.4@“ñ’iŠK‚Ì[–xƒGƒbƒ`ƒ“ƒO
@@2.5@ƒŒƒWƒXƒgƒXƒvƒŒ[‚Æ—§‘̉ÁH
@@2.6@XeF2ƒKƒXƒGƒbƒ`ƒ“ƒO

@‚RD•\–ʃ}ƒCƒNƒƒ}ƒVƒjƒ“ƒO‚É‚¨‚¯‚é‹]µ‘wƒGƒbƒ`ƒ“ƒO

@‚SD‚Ü‚Æ‚ß


‘æ‚Qß@‚l‚d‚l‚r—p“r‚É‚¨‚¯‚éƒKƒ‰ƒXƒGƒbƒ`ƒ“ƒO


‘æ‚Rß@‚r‚‰[–x‚è‹Zp‚ÌÅV“®Œü

@‚PDSi[Œ@‚è‹Zp‚ÌŒ»ó‚Ɖۑè

@@1.1@[Œ@‚èƒGƒbƒ`ƒ“ƒO‹Zp‚Ì“oê
@@1.2@[Œ@‚èƒGƒbƒ`ƒ“ƒO‹Zp‚̉ۑè
@@1.3@ƒTƒuƒ~ƒNƒƒ“ŠJŒû[Œ@‚èRIE‹Zp
@@1.4@—ÖŠs•`‰æ–@

@‚QD[Œ@‚è‹Zp‚̃AƒvƒŠƒP[ƒVƒ‡ƒ“‚Æ«—ˆ“W–]

@@2.1@ƒGƒŒƒNƒgƒƒjƒNƒXŽÀ‘•‚ւ̉ž—p
@@2.2@V‚½‚È•¨—Œ»Û‚ÌŠJ‘ñ
@@2.3@‚’¼•Ç–Ê—˜—pVƒfƒoƒCƒX1FŒõƒtƒBƒ‹ƒ^
@@2.4@•Ç–Ê—˜—pVƒfƒoƒCƒX2F‚’¼•ÇƒgƒŒƒ“ƒ`ƒtƒHƒgƒ_ƒCƒI[ƒh
@@2.5@«—ˆ“W–]


‘æ‚Sß‚Í’˜ìŒ ‚Ì“s‡ãAŒfÚ‚µ‚Ä‚¨‚è‚Ü‚¹‚ñ


‘æ‚Tß‚Í’˜ìŒ ‚Ì“s‡ãAŒfÚ‚µ‚Ä‚¨‚è‚Ü‚¹‚ñ

Ÿ@‘æ‚RÍ@ŽÀ‘•‹Zp

‘æ‚Pß@‚l‚d‚l‚rŽÀ‘•‚Ì‚½‚߂̃EƒFƒn’¼ÚŽÀ‘•‹Zp

@‚PDŠeŽí‚̃EƒFƒnÚ‡–@

@‚QD—z‹ÉÚ‡

@‚RDƒEƒFƒn’¼ÚÚ‡

@‚SD•\–ÊŠˆ«‰»í‰·Ú‡–@


‘æ‚Qß@ƒVƒŠƒRƒ“-ƒZƒ‰ƒ~ƒbƒNƒX—z‹ÉÚ‡‚ÆÚ‡ŠE–Ê•]‰¿

@‚PD—z‹ÉÚ‡‚ÌŒ´—

@‚QDƒVƒŠƒRƒ“‚ƃZƒ‰ƒ~ƒbƒNƒX‚Ì—z‹ÉÚ‡

@@2.1@Ú‡•û–@
@@2.2@Ú‡«•]‰¿
@@@2.2.1@ƒzƒEŒ]Ž_ƒKƒ‰ƒX–ŒŒ`¬ðŒ‚ƃKƒ‰ƒX–ŒŽ¿
@@@2.2.2@Ú‡ðŒ‚ƈø’£‹­“x

@‚RDÚ‡ŠE–Ê•]‰¿‚ÆÚ‡ƒƒJƒjƒYƒ€

@@3.1@—z‹ÉÚ‡ŠE–Ê•]‰¿–@
@@3.2@Ú‡ŠE–Ê•]‰¿
@@3.3@Ú‡ƒƒJƒjƒYƒ€


‘æ‚Rß@—z‹ÉÚ‡‚̒ቷ‰»‚ÆÚ‡‹­“x‚̉ü‘P

@‚PDŠJ”­•ûj

@@1.1@Ú‡‚ÌŒ´—
@@1.2@Ú‡’ቷ‰»‚Ì•ûj

@‚QDÚ‡‚̒ቷ‰»

@@2.1@“d‹É–ŒŒ`¬‚É‚æ‚éÚ‡‚̒ቷ‰»
@@2.2@Ú‡‹­“x

@‚RDÚ‡‹­“x‚̉ü‘P‚ÆÚ‡ŠE–ʂ̉ðÍ

@@3.1@Ú‡‹­“x‚̉ü‘P•ûj
@@3.2@ƒƒ^ƒ‰ƒCƒYŒ`¬SiƒEƒFƒn‚ƃKƒ‰ƒXŠî”‚ÌÚ‡‹­“x
@@3.3@ƒƒ^ƒ‰ƒCƒY•\–Ê‚¨‚æ‚ÑÚ‡ŠE–Ê‚ÌŠÏŽ@
@@3.4@Alƒƒ^ƒ‰ƒCƒY‚ÌŒú‚³‚¨‚æ‚Ñ•\–Ê‘e‚³‚̉e‹¿


‘æ‚Sß@ƒtƒŠƒbƒgƒKƒ‰ƒX‚ð—p‚¢‚½ƒEƒFƒnƒŒƒxƒ‹‚l‚d‚l‚rƒXƒCƒbƒ`••Ž~

@‚PD\‘¢C“®ìŒ´—‚Æ»ìƒvƒƒZƒX

@@1.1@RF MEMSƒXƒCƒbƒ`‚Ì\‘¢
@@1.2@“®ìŒ´—
@@1.3@»ìƒvƒƒZƒX
@@@1.3.1@ƒfƒoƒCƒXƒEƒGƒnƒvƒƒZƒX
@@@1.3.2@••Ž~ƒvƒƒZƒX

@‚QD‹C–§«•]‰¿

@@2.1@—˜_


‘æ‚Tß@‚l‚d‚l‚r—p“r‚É‚¨‚¯‚é’ቷƒEƒFƒnÚ‡‹Zp

@‚PDŠeŽíÚ‡‹ZpŠT—v

@@1.1@—z‹ÉÚ‡
@@1.2@ƒKƒ‰ƒXƒtƒŠƒbƒgÚ‡
@@1.3@‹à‘®Ú‡
@@1.4@Ž÷Ž‰Ú‡
@@1.5@ƒvƒ‰ƒYƒ}Šˆ«‰»Ú‡

@‚QDMEMSƒfƒoƒCƒX‚É‚¨‚¯‚é‹Zp“I—vŒ‚ÆŠeŽíÚ‡‹Zp‚Æ‚Ì“K‡«

@@2.1@Ú‡‰·“x
@@2.2@‹C–§E^‹ó••Ž~
@@2.3@CMOS®‡«
@@2.4@•\–Êr‚³

@‚RDÚ‡‚ƈʒu‡‚킹¸“x

@@3.1@Ú‡‘O‚̈ʒu‡‚킹•û–@
@@3.2@ŠeŠî”‚̔M–c’£ŒW”‚̈Ⴂ
@@3.3@Ú‡‚ÌŽí—ÞE•û–@

@‚SDEVG‚̃EƒF[ƒnÚ‡‘•’u

@@4.1@”¼Ž©“®Ž®“\‚臂킹‘•’uuEVG520ISv
@@4.2@‘SŽ©“®Ž®“\‚臂킹‘•’uuEVG560v
@@4.3@GEMINI
@@4.4@ƒvƒ‰ƒYƒ}Šˆ«‰»“\‚臂킹‘•’u

@‚TDEVG‚̈ʒu‡‚킹‘•’u

@@5.1@ƒ{ƒ“ƒhƒAƒ‰ƒCƒi[uEVG620v‚¨‚æ‚ÑuEVG6200v
@@5.2@ƒXƒ}[ƒgƒrƒ…[ƒAƒ‰ƒCƒi[


‘æ‚Uß@•\–ÊŠˆ«‰»–@‚É‚æ‚é퉷^‹ó••Ž~Ú‡

@‚PD퉷^‹ó••Ž~Ú‡

@@1.1@ŽÀŒ±•û–@
@@@1.1.1@^‹ó••Ž~“Á«‚ÌŒŸØ•û–@
@@@1.1.2@Ú‡ŽŽ—¿‚ÆÚ‡•û–@
@@1.2@ŽÀŒ±Œ‹‰Ê`^‹ó••Ž~“Á«

@‚QD•\–ÊŒ`ó‚Æ••Ž~«”\

@@2.1@ƒŠ[ƒN—¦APc‚ÌŒvŽZ
@@2.2@ƒVƒ~ƒ…ƒŒ[ƒVƒ‡ƒ“Œ‹‰Ê


‘æ‚Vß@‚l‚d‚l‚r^‹ó••Ž~—p‚ÌV‚µ‚¢”ñö”­Œ^ƒQƒbƒ^[ƒtƒBƒ‹ƒ€

@‚PD‚Í‚¶‚ß‚É

@‚QDMEMSƒEƒGƒnƒŒƒxƒ‹ƒpƒbƒP[ƒW

@‚RD“à•”ƒ}ƒCƒNƒƒ|ƒ“ƒv‚Æ‚µ‚ẴQƒbƒ^[ƒtƒBƒ‹ƒ€

@‚SDƒy[ƒWƒEƒGƒn

@‚TDƒEƒGƒn‚ÌôòƒvƒƒZƒX‚Ö‚Ì“K‡«

@‚UDƒAƒEƒgƒKƒX•ªÍ‚ÆŽc—¯ƒKƒX•ªÍ‚É‚æ‚éƒQƒbƒ^[–ÊÏ‚ÌÅ“K‰»


‘æ‚Wß‚Í’˜ìŒ ‚Ì“s‡ãAŒfÚ‚µ‚Ä‚¨‚è‚Ü‚¹‚ñ

Ÿ@‘æ‚SÍ@M—Š«E•]‰¿‹Zp

‘æ‚Pß@”÷\‘¢‚ðl—¶‚µ‚½ƒ}ƒCƒNƒƒfƒoƒCƒX‚̃~ƒNƒEƒ}ƒNƒ‹­“x•]‰¿

@‚PD‚Í‚¶‚ß‚É

@‚QDƒ}ƒCƒNƒƒfƒoƒCƒX‚Ì—ÍŠwƒ‚ƒfƒ‹‚Ì\’z

@‚RDƒ}ƒCƒNƒƒfƒoƒCƒX‚ÌŽc—¯‰ž—͉ðÍ

@‚SDƒ}ƒCƒNƒƒfƒoƒCƒX‚Ì’e«‹““®‚̉ðÍ

@‚TDƒ}ƒCƒNƒƒfƒoƒCƒX‚̉ž—Íó‘Ԃ̉ðÍ

@‚UD‚¨‚í‚è‚É


‘æ‚Qß@‚l‚d‚l‚rÞ—¿‚̈ø’£“Á«•]‰¿‹Zp

@‚PD‚Í‚¶‚ß‚É

@‚QD”––Œˆø’£ŽŽŒ±‹Zp‚ÌŒ»ó‚Ɖۑè

@‚R@Xü‰ñ܉‡—pˆø’£ŽŽŒ±–@‚É‚æ‚éAu-Sn‚Í‚ñ‚¾”––Œ‚Ì‹@ŠB“I“Á«•]‰¿

@@3.1@ˆø’£ŽŽŒ±•Ð
@@3.2@Xü‰ñ܉‡—pˆø’£ŽŽŒ±–@
@@3.3@Au-Sn‹¤»‚Í‚ñ‚¾”––Œ‚̈ø’£ŽŽŒ±Œ‹‰Ê
@@3.4@ƒNƒŠ[ƒvŽŽŒ±

@‚SD‚Ü‚Æ‚ß


‘æ‚Rß@‚l‚d‚l‚rƒpƒbƒP[ƒW‚Ì•]‰¿E‰ðÍ‹Zp

@‚PD‚Í‚¶‚ß‚É

@‚QD’f–ÊŠÏŽ@Žè–@‚Ì“Á’¥‚Æ”äŠr

@‚RD–³“d‰ðAu/Pd/Ni-P‚ÌÚ‡ŠE–Ê‹““®

@@3.1@‚Í‚ñ‚¾ƒ{[ƒ‹‚̃vƒ‹‹­“x
@@3.2@Au/Ni-P‚Ì‹­“x•Ï‰»Œ´ˆö
@@3.3@Au/Pd/Ni-P‚Ì‹­“x•Ï‰»Œ´ˆö
@@3.4@‚Ü‚Æ‚ß

@‚SD–³“d‰ðAu/Ni-P‚ß‚Á‚«‚Ì”—£‰ðÍ

Ÿ@‘æ‚TÍ@ƒfƒoƒCƒXEƒAƒvƒŠƒP[ƒVƒ‡ƒ“

‘æ‚Pß@‚l‚d‚l‚rƒ‚[ƒVƒ‡ƒ“ƒZƒ“ƒT‚Ì“®Œü‚Æl‘Ì“®ì‰ð͂ւ̉ž—p

@‚PDMEMSŠµ«ƒZƒ“ƒT‚̃fƒoƒCƒX“®Œü

@@1.1@‰Á‘¬“xƒZƒ“ƒT
@@@1.1.1@Žsê“®Œü
@@@1.1.2@ƒfƒoƒCƒX“®Œü
@@1.2@ƒWƒƒƒCƒƒZƒ“ƒT
@@@1.2.1@Žsê“®Œü
@@@1.2.2@ƒfƒoƒCƒX“®Œü
@@1.3@ƒnƒCƒuƒŠƒbƒhMEMS6Ž²ƒ‚[ƒVƒ‡ƒ“ƒZƒ“ƒT

@‚QDMEMSƒ‚[ƒVƒ‡ƒ“ƒZƒ“ƒT‚Ìl‘Ì“®ì‰ð͂ւ̉ž—p

@@2.1@˜rŽžŒvŒ^s“®‹L˜^ŒvuViMiƒrƒ€jv
@@2.2@–³üƒ‚[ƒVƒ‡ƒ“ƒŒƒR[ƒ_uMVP-RFv
@@2.3@–³ü6Ž²ƒ‚[ƒVƒ‡ƒ“ƒZƒ“ƒTƒ‚ƒWƒ…[ƒ‹uMVP-R6v


‘æ‚Qß@‚l‚d‚l‚rŠµ«ƒZƒ“ƒT[‘gž‚ÝŒv‘ª‘•’u

@‚PD»•iŠJ”­‚ÌŒoˆÜ

@‚QD»•i‚Ì“Á’¥

@‚RDƒZƒ“ƒT[‚Ì“Á’¥

@‚SD‘S‘Ì‚Ì\¬

@‚TDŽŽì•i‚ÌŠJ”­

@‚UD»•iŠJ”­ƒRƒ“ƒZƒvƒg

@‚VD»•iƒ‚ƒjƒ^[

@‚WD‹@”\‹­‰»‘Îô

@‚XDV‹@Ží‚̒ljÁ

‚P‚OD‰F’ˆq‹óŒ¤‹†ŠJ”­‹@\iJAXAj‚©‚çŠJ”­ˆË—Š

‚P‚PDG-MEN‰F’ˆ‚Ös‚­

‚P‚QD¡Œã‚Ì“WŠJ

‚P‚RD»•iŽd—l

‚P‚SD‚ ‚Æ‚ª‚«


‘æ‚Rß@‚l‚d‚l‚rƒfƒoƒCƒX—p‚k‚r‚h

@‚PDMEMS—pLSI‚É‹‚ß‚ç‚ê‚é‹@”\

@@1.1@Œë·•â³‹@”\
@@1.2@‚S/Nú•
@@1.3@’áÁ”ï“d—͉»

@‚QD‚±‚ê‚©‚ç‚ÌMEMS—pLSI‚É‹‚ß‚ç‚ê‚é‚à‚Ì

@@2.1@‚¸“xM†ˆ—{‚“dˆ³ƒhƒ‰ƒCƒo
@@2.2@ƒIƒvƒeƒBƒJƒ‹MEMS
@@2.3@V‰ñ˜H•ûŽ®‚ÌŠJ”­

@‚RDMEMS—pLSI‚ÌŽü•Ó‹Zp

@@3.1@MEMS{LSIˆê‘ÌŒ^
@@3.2@ŒÂ•Ê‘fŽqŽÀ‘•‹Zp


‘æ‚Sß@‚l‚d‚l‚rƒƒCƒ„ƒŒƒX’ÊM

@‚PDMEMS‚É‚¨‚¯‚郃Cƒ„ƒŒƒX‚Ì•K—v«

@‚QDMEMS‚̃ƒCƒ„ƒŒƒX‰»‚É‚¨‚¯‚éƒpƒbƒP[ƒW‚Ìd—v«

@‚RDOne-tenth‚Ì‹@”\

@@3.1@RF•”
@@3.2@CPU•”
@@3.3@ƒƒ‚ƒŠ•”
@@3.4@ƒZƒ“ƒT•”
@@3.5@‚»‚Ì‘¼

@‚SDMEMSƒƒCƒ„ƒŒƒX‰»‚ÌÝŒv‚Æ\‘¢

@@4.1@\‘¢ÝŒv
@@4.2@‰ñ˜HÝŒv
@@4.3@•”•i‘I’è
@@4.4@ƒpƒ^[ƒ“ÝŒv
@@4.5@‘g—§‚Ä

@‚TDƒ\ƒtƒgƒEƒFƒA

@‚UDMEMSƒƒCƒ„ƒŒƒX‚Ì–â‘è

@@6.1@ƒAƒ“ƒeƒi‚Ì‘å‚«‚³
@@6.2@“d’r‚Ì‘å‚«‚³‚Æ—e—Ê
@@6.3@‰ð͉ñ˜H
@@6.4@RFƒ`ƒ…[ƒjƒ“ƒO

@‚VD¡Œã‚̉ۑè

@@7.1@•à—¯‚Ü‚è‚̈«‚³
@@7.2@‰¿Ši
@@7.3@ƒƒCƒ„ƒŒƒXÝŒv‚̓‚³

@‚WDMEMSƒƒCƒ„ƒŒƒX‰»‚̉ž—p

@‚XD“W–]


‘æ‚Tß@‚l‚d‚l‚rŒõƒXƒLƒƒƒi[‚ÌŽ–‹Æ“WŠJ

@‚PD‰½ŒÌ“ú–{M†‚ªMEMSH

@‚QD“ú–{M†‚ÌMEMSŽ–‹Æ

@@2.1@Ž–‹ÆŠT”O
@@2.2@Ž–‹Æ‰»‚ÉŒü‚¯‚Äl‚¦‚È‚¯‚ê‚΂Ȃç‚È‚¢—vŒ

@‚RD“ú–{M†‚ÌMEMSuƒGƒRƒXƒLƒƒƒ“v

@@3.1@uƒGƒRƒXƒLƒƒƒ“v‚Ì“Á’¥
@@3.2@“®ìŒ´—
@@3.3@»‘¢•û–@
@@3.4@“®ì“Á«
@@3.5@ŒõŠw“Á«
@@3.6@Žõ–½

@‚SDuƒGƒRƒXƒLƒƒƒ“v‰ž—pƒZƒ“ƒTi‹——£‰æ‘œƒZƒ“ƒTj

@@4.1@‹——£‰æ‘œƒZƒ“ƒT‚ÌŠT—v
@@4.2@‹——£‰æ‘œƒZƒ“ƒTŽd—l
@@4.3@\¬
@@4.4@“ŠŽóŒõŠwŒn

@‚TDMEMSŒõƒXƒLƒƒƒi‚Ì“K—pƒAƒvƒŠƒP[ƒVƒ‡ƒ“