□ EUVリソグラフィの装置・材料と新しい検査技術,今後の課題・展望
東京大学 藤原弘和
1.はじめに
2.EUV 露光装置
3.EUV レジスト
4.今後の課題・展望
□ EUVレジストの開発動向
JSR(株) 丸山研
1.はじめに
2.CAR vs MOR,微細化の勝者は?
3.MOR が切り拓くEUV リソグラフィ新時代
4.進化するもう一つの主役,CAR
□ EUVレジスト材料の反応機構,高性能化とメタルレジスト材料の性能評価
(国研)量子科学技術研究開発機構 山本洋揮
1.はじめに
2.EUVレジストの反応機構
3.反応機構に基づいた高性能化
4.メタルレジスト
□ 光酸発生剤の種類,分解機構,機能設計とEUVレジストへの応用
富士フイルム(株) 土村智孝
1.はじめに
2.光酸発生剤
3.光酸発生剤のEUVレジスト材料への応用
|